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探針測試臺技術指標
發布時間：2017-04-06瀏覽次數：1669返回列表
技 術 指 標 ：
| 工作臺面 | 370mm*245mm |
| 載物臺直徑 | 4" |
| 光學參數 | 總放大率：50-100倍；手輪調焦范圍：60mm；升降調焦范圍：200mm； |
| 旋轉臺 |
粗調范圍：360°；微調范圍：±10°；小刻劃：1°； |
| 三維探針座 | 探針座X、Y、Z方向調節范圍：±3.25mm，分辨率±2μ； 三維探針座在工作臺面可任意位置固定，由磁性開關控制； 多可布三維探針座6個； 探針臂伸出長度：60mm； 探針長度：40mm； |
| 探針 | 探針材質硬質合金，針尖曲率半徑2μm； |
