用X射線照射試樣時，試樣可以被激發出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強度，以行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。
天瑞X熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（次X射線），激發被測樣品，產生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光行檢測。
近年來，X熒光光譜分析在各行業應用范圍不斷拓展，已成為種廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個域，特別是在RoHS有害元素的檢測域應用得多也廣泛。那么與傳統的原子熒光光度計相比，X射線熒光光譜儀與之有哪些共同點和區別呢？
共同點：二者都是把物質激發后檢測其熒光
區別：從大的方面看主要有兩點：
、激發光源不同。原子熒光用的光源很多，如各種激光等，但很少有用X-射線的；而X-射線熒光則是用X-射線作激發光源。
二、用途不同。原子熒光光度計主要用來作定量分析，尤其是金屬元素的定量分析；而天瑞X射線熒光光譜儀主要用來作定性分析和結構分析。
此外，二者在儀器構、使用方法、檢測范圍、樣品制備等方面也都存在差別。