X射線熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大分元素，具體而言，從鈉元素到鈾元素都可以利用這種術行檢測分析。但是對于原子序數較低的元素，空氣會對檢測結果產生較大影響；由低原子序數元素產生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會吸收低原子序數元素的能量輻射。在業及科研域，經常需要對樣品行非破壞性的元素分析，同時對分析面積及靈敏度具有苛刻的要求，如RoHS分析，貴金屬檢測等通常情況下，用于提低原子序數元素的檢測靈敏度的方法主要為將儀器的樣品室抽成真空環境或者以氦氣沖洗樣品室。是種常用的光譜術，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測量等。那么該光譜儀的種類中主要以哪種為主呢？

X射線熒光光譜儀有多種，主要以波長色散和能量色散為主：
、波長色散熒光光譜儀
此種儀器的靈敏度比能量色散的個數量，也就是說，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。但儀器的價格比能量色散的貴很多，特別是口的都在百元以上，所以沒有外公司建議用。儀器操作和能量色散樣，不需要專業人員。 波長型大優點是用在原材料廠上，其測定的數據準確，給生產廠以確信的合格材料。 缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠適合。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產生不同誤差。
二、能量色散熒光光譜儀 
能量色散型儀器大的優點是不破壞被測的材料或產品，也不需要專業人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格）?？诨虍a的各種能量色散熒光光譜儀術水平雖有差別，但已夠應對RoHS檢測，用戶應根據自己的能力來選購產或口的。

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