X射線熒光光譜法元素分析儀采用晶體或人擬晶體根據(jù)Bragg定律將不同能量的譜線分開，然后行測量。波長色散X射線熒光光譜般采用X射線管作激發(fā)源，可分為順序式(或稱單道式或掃描式)、同時式(或稱多道式)譜儀、和順序式與同時式相結(jié)合的譜儀三種類型。順序式通過掃描方法逐個測量元素，因此測量速度通常比同時式慢，適用于科研及多用途的作。同時式則適用于相對固定組成，對測量速度要求和批量試樣分析,順序式與同時式相結(jié)合的譜儀結(jié)合了兩者的優(yōu)點。
    Ｘ射線熒光光譜法是利用原Ｘ射線光子或其他微觀粒子激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次Ｘ射線）而行物質(zhì)成分分析的方法。在成分分析方面，隨著電子術(shù)和計算機(jī)術(shù)的飛速發(fā)展，入了個新的發(fā)展階段，在儀器、分析術(shù)和軟件應(yīng)用方面的步均十分顯著。波長色散型Ｘ射線熒光光譜儀、能量色散型Ｘ射線熒光光譜儀，以及便攜式Ｘ射線熒光光譜儀相繼推出；各種應(yīng)用軟件以商品形式投入使用；其分析度、靈敏度和準(zhǔn)確度有了步提；分析術(shù)所需標(biāo)準(zhǔn)樣品數(shù)由幾十個降到幾個，甚至１個多元標(biāo)準(zhǔn)樣品也可獲得較好的分析
。
    X射線熒光光譜法元素分析儀具有重現(xiàn)性好，測量速度快，靈敏度的特點。能分析F(9)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無標(biāo)半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果準(zhǔn)確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。 測量樣品的大尺寸要求為直徑51mm,40mm.