自動(dòng)橢圓偏振測厚儀  偏振測厚儀  

型號(hào)：LT/SGC-1A

儀器參數(shù)

測量范圍1nm-300nm
測量Z小值≤1nm
入射角30°- 90°誤差≤0.1°
偏振器方位角讀數(shù)范圍0°- 180°
度盤刻度每格2度
游標(biāo)Z小讀數(shù)0.05°
光學(xué)中心高度152
工作臺(tái)直徑φ70
外形尺寸730*230*290
主機(jī)重量20kg