GDWT-480型全自動(dòng)型高低溫真空探針臺(tái)
關(guān)鍵詞：高低溫探針臺(tái)，半導(dǎo)體，光電，吉時(shí)利
GDWT-480型全自動(dòng)型高低溫真空探針臺(tái)主要應(yīng)用于I-V/C-V，PIV測(cè)試,傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的電子樣品測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本，可以配合Keithley,Tektronix等國(guó)內(nèi)外各種源表對(duì)材料進(jìn)行測(cè)試，可以做材料的介電，鐵電等測(cè)試,是目前高等院校和研究所及材料生產(chǎn)單位的重要輔助設(shè)備。
GDWT-480型自動(dòng)型真空高低溫探針臺(tái)該探針臺(tái)尺寸高達(dá)59x59MM，不銹鋼臺(tái)面設(shè)計(jì)，可以達(dá)到高溫350℃。在真空方面采用真空腔體設(shè)計(jì)，具備進(jìn)氣口和抽真空接口，三軸移動(dòng)探針臂保證X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下移位調(diào)節(jié)，用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè).
主要特點(diǎn)：
1、溫度可以從-190℃-350℃
2、探針不需要打算開(kāi)觀察窗口，可以通過(guò)X/Y/Z三軸移動(dòng)調(diào)節(jié)探針，
3、可以配真空，氣氛等多種功能。
4、三軸調(diào)節(jié)范圍：其中X方向0－28mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－18mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－18mm；
主要技術(shù)參數(shù)：
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真空腔體 |
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整內(nèi)腔體尺寸 |
φ160 |
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觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
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樣品臺(tái)尺寸 |
Φ60mm |
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觀察窗熱臺(tái)間距 |
74mm |
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加熱臺(tái)溫度 |
-190-350℃ |
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加熱臺(tái)溫控精度 |
±1℃ |
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真空度 |
機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-5Pa |
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電信號(hào)接頭 |
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
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電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
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探針數(shù)量 |
4探針 |
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探針材質(zhì) |
鎢針 |
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探針尖 |
10μm（其他多種可選）0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米 |
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制冷 |
液氮/液氦/制冷機(jī) |
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探針移動(dòng)平臺(tái) |
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X-Y-Z移動(dòng)行程 |
30mm*25mm *25mm |
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結(jié)構(gòu) |
真空波紋管結(jié)構(gòu)，三軸控制探針 |
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精度 |
≤0.01mm |
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漏電精度 |
10pA,100fA,10fA |
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接頭類型 |
BNC/三軸/鱷魚(yú)夾/香蕉頭/接線端子 |
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頻率支持 |
DC-67GHZ |
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針尖直徑 |
0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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電子顯微鏡 |
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顯微鏡類別 |
物鏡(可以選配） |
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物鏡倍數(shù) |
0.6-5.0倍(可以根據(jù)客戶要求進(jìn)行選配） |
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工作間距 |
85mm |
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相機(jī) |
sony 高清 |
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像素 |
200萬(wàn)/500萬(wàn)/1200萬(wàn) |
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圖像接口 |
VGA |
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LED可調(diào)光源 |
有 |
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顯示屏 |
9寸 |
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放大倍數(shù) |
19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm |
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可選附件 |
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光學(xué)平臺(tái) |
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屏蔽箱 |
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光電測(cè)試配件 |
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高壓測(cè)試配件 |
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激光系統(tǒng) |
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氣敏測(cè)試系統(tǒng) |
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