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專用硅單晶/多晶中氧碳含量自動測量系統的氧碳含量技術參數符合(符合國家GB/T1557-2006)(符合國家GB/T1558-2009)
測試方法：把測量樣品用專用硅片固定架放入儀器樣品室，開始測量，計算機讀取1107CM-1,SI-O-SI帶特征吸收峰和607CM-1, C-SI帶特征吸收峰，由峰高法計算出硅單晶中氧碳含量. 測量硅片厚度：0.04-4.0MM, 硅片檢測下限：1.0X1016CM-3(常溫)
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