TMC 主動(dòng)氣浮振動(dòng)阻尼系統(tǒng)特點(diǎn)：1.六自由度主動(dòng)振動(dòng)阻尼系統(tǒng)2 .或集成的強(qiáng)力電磁致動(dòng)器 3. 數(shù)字控制器 4. 非接觸式電子高度控制閥

森泉光電是專業(yè)從事光電相關(guān)領(lǐng)域儀器設(shè)備代理與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)的綜合性服務(wù)商，專注于光電產(chǎn)品及輔助設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、代理與銷售。業(yè)務(wù)范圍涵蓋國內(nèi)各大高校、科研院所及眾多zhi 名企業(yè)，深受廣大用戶歡迎。 公司代理和經(jīng)銷的產(chǎn)品種類十分豐富，涉及到激光、光學(xué)、光電子、光通訊、微機(jī)電、自動(dòng)化、物理、化學(xué)、電子、生物、農(nóng)業(yè)等等領(lǐng)域。可為科研及企業(yè)用戶提供光學(xué)實(shí)驗(yàn)及檢測(cè)的全套解決方案，并提供全面的售前、售中、售后支持與服務(wù)。

TMC 主動(dòng)氣浮振動(dòng)阻尼系統(tǒng)

特點(diǎn)：

1.六自由度主動(dòng)振動(dòng)阻尼系統(tǒng)

2 .或集成的強(qiáng)力電磁致動(dòng)器

3. 數(shù)字控制器

4. 非接觸式電子高度控制閥

優(yōu)點(diǎn)：

1、減小載荷運(yùn)動(dòng)和調(diào)整時(shí)間
2、更高的分辨率
3、模塊化設(shè)計(jì)允許用戶一個(gè)完整的單元或組件，方便OEM集成
4、前饋參數(shù)自動(dòng)調(diào)節(jié)，簡(jiǎn)化設(shè)置

TMC 主動(dòng)氣浮振動(dòng)阻尼系統(tǒng)

Electro-Damp®是款商業(yè)化、主動(dòng)的隔振系統(tǒng)，專門設(shè)計(jì)來增加半導(dǎo)體制造應(yīng)用的分辨率以及產(chǎn)量。Electro-Damp®II是對(duì)原始系統(tǒng)wan 全重新的設(shè)計(jì)，添加了模塊、數(shù)字控制、前饋控制，強(qiáng)力/高清晰度致動(dòng)器，以及專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用如顯微光刻法，檢驗(yàn)和計(jì)量工具的多個(gè)數(shù)字用戶接口。

半導(dǎo)體制造工具的放置需要隔振系統(tǒng)。針對(duì)地板噪聲，系統(tǒng)bi 須“軟”以便有效過濾地板振動(dòng)達(dá)到隔振效果。同時(shí)，系統(tǒng)bi 須“硬”來響應(yīng)平臺(tái)受力。

除了利用慣性、主動(dòng)反饋?zhàn)枘幔珽lectro-DampII還使用前饋信息進(jìn)一步提高系統(tǒng)響應(yīng)。前饋控制器的工作原理是通過具有平臺(tái)位置以及加速度信息的平臺(tái)控制器獲得信息，然后經(jīng)過數(shù)據(jù)處理后提供力用于驅(qū)動(dòng)負(fù)載，大大減少載荷運(yùn)動(dòng)。DC2000數(shù)字控制器還可以利用平臺(tái)測(cè)試模式自動(dòng)調(diào)節(jié)前饋所需的參數(shù)。這使得初始安裝或改變有效載荷后的設(shè)置更加快速和容易。Electro-Damp®II的模塊化設(shè)計(jì)允許系統(tǒng)單獨(dú)使用電子伺服閥或者電磁驅(qū)動(dòng)，或者對(duì)于苛刻的應(yīng)用程序兩者結(jié)合使用。

TMC 主動(dòng)氣浮振動(dòng)阻尼系統(tǒng)
Specifications-

(may vary depending upon configuration)

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