surpass復合磁控濺射鍍膜

成都漢普升科技有限公司，成立于2015年11月16日，致力于電真空、核級裝備、人工晶體材料及薄膜制備設備的技術提升，在服務領域深耕細作，具有較深的技術沉積。
公司成立以來，秉承“超越極限，邁向卓越”的核心價值觀，在自己所擅長領域為客戶提供優(yōu)良的產(chǎn)品和技術解決方案，公司注重產(chǎn)品和運營模式創(chuàng)新，我們堅信：唯有創(chuàng)新方能給用戶增值，公司已與多家科研院所、高等院校及企事業(yè)單位進行橫向合作，形成了科研級、工業(yè)級、軍品級產(chǎn)品體系，已為客戶設計制造了多套專用設備和儀器，獲得了用戶廣泛贊譽。

●設備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、過渡倉、磁力機械手、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制。

●真空腔體：φ650x700雙層水冷；（可根據(jù)實際需求定制）

●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統(tǒng)；

●真空抽速：1600L/S，進口全量程復合真空計，全金屬防爆真空規(guī)；

●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）

●磁控靶組件：4個矩形靶，3個圓形靶，根據(jù)客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；

●離子源：1套線性離子源，匹配專用電源；

●氣路：4路反應氣體，進口質(zhì)量流量計，1路毛細保護氣路；

●烘烤溫度：300℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結構；

●工件盤：導軌多工位行星工件盤2套，工件盤裝夾移動小車一輛；

●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機界面+工業(yè)控制計算機。

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