磁控濺射儀 庫號：D346244

東方化玻（北京）科技有限公司成立于 2014 年，是實驗設備、平臺綜合解決方案提供商。公司為國內企事業單位 提供高品質儀器儀表，實驗設備以及整體解決方案。 公司與國內外多家世界生產商已建立長期合作關系。公司經營產品廣泛，靈活滿足不同事業單位和企業客戶的差異化需求 以及快速創新的追求，產品故障率低，維護成本小，性能優異，售后服務完善。公司產品在行業內均擁有持續的應用歷史并 經過市場實際應用檢驗。 堅持以持續技術創新為客戶不斷創造價值為經營理念，公司在產品研發方面投入比例逐年遞增，目前自主研發并投入市場 的產品已達十余種，長期以來，公司一直按照標準，搭建實驗室平臺，構建高品質、高標準、持續創新的發展體系。 堅持穩步發展的管理理念，不斷刷新自己在業內的記錄。

磁控濺射儀 庫號：D346244
磁控濺射儀 庫號：D346244
磁控濺射儀 庫號：D346244
原理：

在磁控濺射中，由于運動電子在磁場中受到洛侖茲力，它們的運動軌跡會發生彎曲甚至產生螺旋運動，其運動路徑變長，因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數，使等離子體密度增大，從而磁控濺射速率得到很大的提高，而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作，降低薄膜污染的傾向；另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量，因而可以在很大程度上改善薄膜的質量。同時，經過多次碰撞而喪失能量的電子到達陽極時，已變成低能電子，從而不會使基片過熱。

參數：

?主機規格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

?靶（上部電極）：Au 50mm×0.1mm（D×H）

?靶材：Au（標配）

?樣品室：玻璃腔體180mm×120mm（D×H）

?樣品臺直徑：φ70mm

?靶材尺寸：Ф50mm 

?高真空度：≤ 5X10-3 mbar

?大電流：100mA

?定時器：數碼計時 0-999S

?鍍膜面積：50mm

?微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

?可通入氣體：多種

?高電壓：-1600 DCV

?機械泵：VRD-8

?速率：0--60nm/min

用途：

1、適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）觀察前對樣品的噴金、噴鉑。

2、非導體材料實驗電極制作（噴金、噴鉑。噴銀等）

3、其他可以滿足條件的鍍膜實驗。

特點：

1、經濟、、外觀精美。

2、成膜速率高。

3、基片溫度低，可以對溫度敏感的材料進行鍍膜。

4、可實現大面積鍍膜。

5、可調節濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小，顆粒大小約4-20nm。

6、SETPLASMA手動啟動按鈕可預先設置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。

7、真空保護可避免真空過低造成設備短路。

8、同時可以通過換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達到細顆粒的涂層。

9、通過通入不同的惰性氣體以達到純凈的涂層。


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