產品簡介
PSG 磷硅玻璃去除設備1、設備主要應用于去除爐管制程中產生的磷硅玻璃 2、高產能及低破片率, 提供單晶硅片表面臟污及磷硅玻璃清洗
產品說明
PSG 磷硅玻璃去除設備
1、設備主要應用于去除爐管制程中產生的磷硅玻璃
2、高產能及低破片率, 提供單晶硅片表面臟污及磷硅玻璃清洗處理
3、采用特殊干燥系統設備,有效降低產品破片率
4、全自動補液技術
5、雙伺服機械手傳送系統,自動上/下料工位,排水/進水系統實現全自動化,搭配觸控式屏幕,提供操作簡便的功能性
6、進口行走機械臂,運行平穩。全自動控制行程模式,優良的制程調控能力,穩定的高產出率及低破片率,適用于批量生產線。本頁產品地址:http://lgsztm.com/sell/show-99330.html

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