MicroLineTM 300影像測量儀是一款高性能測量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設備等關鍵尺寸的自動化測量系統。該系統配備了高質量光學顯微鏡和移動平臺，可對200mm的晶圓上0.5μm到400μm的特征尺寸進行全自動的視場測量。

東莞市天測光學設備有限公司蘇州分公司（Tiance optical Suzhou Branch）是一家專業從事測量儀器銷售和服務的高新技術企業。公司總部坐落在中國制造業名城江蘇省蘇州市昆山.公司本著“誠信、專業、務實、創新”的經營理念，堅持“以質量求生存、以信譽求發展”為企業宗旨,為客戶提供高質低價的產品和服務,獲得珠三角客戶廣泛好評。 公司專業從事美國QVI產品、OGP影像儀、View影像儀（中國區總代）、法國Keron 關節臂三坐標測量儀、等國際著名品牌測量儀器的銷售、安裝、維修、校正、保養、升級等服務。公司擁有完善的樣品測試中心和方案評估實驗室,可為客戶提供完善的測量解決方案,公司附設200平米的機器展示中心,可為企業，學校及研究機構提供三維尺寸測量，三維激光掃描，測量儀應用培訓等服務。 

關鍵尺寸的自動化光學測量系統

MicroLine^TM 300影像測量儀是一款高性能測量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設備等關鍵尺寸的自動化測量系統。該系統配備了高質量光學顯微鏡和移動平臺，可對200mm的晶圓上0.5μm到400μm的特征尺寸進行全自動的視場測量。

n 200 x 200mmX-Y平臺

n 基于視覺的自動聚焦獲得影像質量

n 自動照明可編程光強

n 用于測量透明層、不規則邊緣的線、厚膜等的強勁性能

n 完全可編程的序列，包括自動聚焦和關鍵尺寸測量

n 電動的6目物鏡轉換器，軟件控制

n 可選的透射照明

技術規格：

- 測量行程: 200 x 200 x 25mm (XYZ)

- 平臺運行: 交叉滾軸手動同軸定位和快速釋放

- 視場內的測量精度: 0.010μm (用100x物鏡)

- 特征尺寸: 視場內0.5μm - 400μm

- FOV測量重復性: <0.010μm on wafers (用100x物鏡)

<0.005μm on photomasks (用100x物鏡)

- 照明: 石英鹵素燈, 反射光

自動照明

- 低噪音CCD VGA格式攝像頭

- 圖像處理60幀每秒

MicroLine 300的典型應用包括：

l 晶圓

l 光罩

l MEMS

l 微型組件

測量類型:

n 關鍵尺寸:

線寬 Linewidth

節距 Pitch

間隙 Spacing

n Overlay

Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

Butting error

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