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價格：電議
所在地：上海
型號：PLUTO-30
更新時間：2024-03-05
瀏覽次數：921
公司地址：上海市康橋東路1159弄91號
王先生(先生)
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中小型多功能等離子清洗機PLUTO-30參數 |
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腔體 |
腔體尺寸 |
300W x 280H x 366Dmm |
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容量 |
30L |
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電數量 |
多可達7層 |
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電 |
電間隙 |
48mm |
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功率電尺寸 |
226W x 210D mm |
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接地電尺寸 |
260W x 210D mm |
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射頻系統 |
射頻功率和頻率 |
300W/13.56MHz |
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氣體控制 |
MFC控制器 |
標配1個MFC，多4個MFC控制器 |
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系統控制 |
7寸工業觸控屏 |
全數字控制，實時顯示工作狀況，可設定操作權限和各種報警值，可儲存工藝方案 |
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真空泵系統 |
油泵 |
32m3/h |
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功率 |
220V/10A，50Hz，單相，3線 |
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尺寸 |
外形尺寸 |
706W x 804D x 735H mm |
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特別裝置 需求 |
工藝氣體 |
0.25英寸. 氣管快接.適用于 15-20psig; |
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凈化氣 |
0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig |
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CDA |
0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig |
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排氣接口 |
KF40 |
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可選項 |
液體前驅體輸送系統 |
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500W/13.56MHz射頻系統 |
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37m3/h 干泵 |
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排氣洗滌器 |
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油霧消除器 |
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中小型多功能等離子清洗機PLUTO-30特點：
氣體輸送系統，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電配置
獨特的射頻系統提供的工藝重復性和處理效率
全自動處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅動流程并提供實時流程信息
臺式設計需要較小的占地面積
中小型多功能等離子清洗機PLUTO-30典型應用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性：預壓模粘合；預焊線粘合
增強表面膠體流動性：預成型；預倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
灰化和表面清潔
降低表面應力，改善表面粘結性
Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)
電介質/III-IV材料
納米涂層（配備液體前體輸送裝置）
耐水納米涂層：印刷電路板表面處理
防腐納米涂層：醫療器械，醫療植入物
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