該供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置，質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。觸摸屏控制.

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司是一家專注于新材料、新能源、高端裝備設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)與一體的高新技術(shù)企業(yè)，合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專家顧問，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司擁有400平米的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，部分實(shí)驗(yàn)室對(duì)外開放。公司擁有31項(xiàng)，其中發(fā)明6項(xiàng)、實(shí)用新型23項(xiàng)、外觀2項(xiàng)。涉及領(lǐng)域包括，石墨烯、碳納米管、高溫?zé)晒夥邸LED有機(jī)小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。公司產(chǎn)品有智能高低溫CVD系統(tǒng)、PECVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐、高低溫箱式爐、等離子清洗設(shè)備、RF濺射設(shè)備、各種壓力的手動(dòng)自動(dòng)壓片機(jī)、各種功能尺寸的手套箱、球磨機(jī)、氧化鋯齒科燒結(jié)爐等。

主要技術(shù)參數(shù)：

工作電壓：185~245V，50 Hz

最大輸出功率：18W

流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：5sccm、50sccm 、100sccm、 200sccm（非特殊指定以氮?dú)鈽?biāo)定，量程可選）

工作溫度：4~45℃

工作壓差：0.1~0.5Mpa

最大壓力：3Mpa

準(zhǔn)確度：±1.5%F.S

壓力表測(cè)量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

針閥：304不銹鋼

混氣罐：Φ80*120mm

截止閥：Φ6mm

尺寸：600*600*650mm

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