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超小型真空探針臺，迷你型探針臺只有大小，手動調節探針，底部可透光，測試光譜，
.探針臺與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數測試及功能調試，適用于科研、新品試制及小批量生產的中間測試
溫度范圍: 77degK ~ 480degK
? 探針座數量: 4~6sets
? 寬敞的工作間距
? 針座精度10um
? 真空泵浦: 10^-3 torr (機械泵)/10^-6 torr(分子泵)
? 溫度控制器
? Thermo-couple @ certain position & Thermo-meter
? 50L氮氣瓶
? 液態氮/氣態氮連接閥
組件：溫度可低至-190℃，；真空系統可選機械泵或分子泵系統，真空度可達到10-3Tor。超小型真空探針臺應用：可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，
超小型真空探針臺KT-Z4019MRL4T
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真空腔體 |
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類型 |
高溫型室溫到350℃ |
高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
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腔體材質 |
304不銹鋼 6061鋁合金 可選 |
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腔體內尺寸 |
127mmX57mmX20mm |
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腔體外尺寸 |
150mmX80mmX32mm |
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腔體重量 |
不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG |
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腔體上視窗尺寸 |
Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
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腔體抽氣口 |
KF16法蘭（其余接口規格可轉接） |
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腔體真空測量口 |
KF16法蘭（其余接口規格可轉接） |
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腔體進氣口 |
6mm快擰 或 6mm快插 |
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腔體冷卻方式 |
腔體水冷+上蓋氣冷 |
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腔體水冷接口 |
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腔體正壓 |
≤0.05MPa |
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腔體真空度 |
機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
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樣品臺 |
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樣品臺材質 |
不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 |
銀銅合金 純銀塊 |
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樣品臺尺寸 |
26x26mm |
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樣品臺加熱方式 |
電阻加熱 |
電阻加熱 液氮制冷 |
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樣品臺-視窗 距離 |
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） |
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樣品臺測溫傳感器 |
PT100型熱電阻 |
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樣品臺溫度 |
室溫到400℃ |
室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
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樣品臺測溫誤差 |
±0.5℃ |
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樣品臺升溫速率 |
高溫100℃/min 低溫7℃/min |
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溫控儀 |
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溫度顯示 |
7寸人機界面 |
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溫控類型 |
標準PID溫控 +自整定 |
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溫度分辨率 |
0.1℃ |
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溫控精度 |
±0.5℃ |
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溫度信號輸入類型 |
PT100 （可選K S B型熱電偶） |
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溫控輸出 |
直流線性電源加熱 |
直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
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輔助功能 |
溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口 |
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溫控器尺寸 |
32cmX170cmX380cm |
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溫控器重量 |
約5.6KG |
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探針 |
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電信號接頭 |
配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 |
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電學性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
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探針數量 |
4探針（可擴展5探針） |
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探針材質 |
鍍金鎢針 （其他材質可選） |
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探針尖 |
10μm |
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手動探針移動平臺 |
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X軸移動行程 |
20mm ±10mm（需手動推動滑臺） |
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X軸控制精度 |
≥500μm |
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R軸移動行程 |
120° ±60°（需手動旋轉探針桿） |
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R軸控制精度 |
≥500μm |
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Z軸移動行程 |
2mm ±1mm |
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Z軸控制精度 |
≤50μm（需手動螺紋調節探針桿） |
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