LED顯微曝光系統顯微鏡LED 曝光系統 UTA 系列

無錫浩輝者新材料科技有限公司依靠多年材料特性研究的經驗及對檢測設備及技術的研發與應用，為客戶提供材料檢測分析儀器及方法。讓客戶深入了解全面的分析技術，以及其性能限制，為客戶的分析需求選擇適合的分析儀器。與此同時，我們會幫助輔導客戶完成整個分析過程，得到客戶所需要的答案及結果。也可依顧客需求，提供完整專業的系統解決方案。目前服務于各大專院校、研究機構、產業界研發單位和具備自主研發能力的大型企業，期望對國內外的科研及產業盡一份心力。

LED 顯微曝光系統
顯微鏡LED 曝光系統 UTA 系列
介紹：
1)顯微鏡 LED曝光系統 UTA系列，為不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光設備。
2)使用金相顯微鏡和 LED 光源 DLP 光機，即可在涂布光阻的基板上進行數個微米 分辨率的曝光。
3)Pattern 形狀可以使用計算機繪圖自由制作。
4)可在一般環境操作，樣品外觀及尺寸限制小，價格比一般電子束曝光機更便宜、方便性更高，可以大幅降低研發成本。

特色：
√使用顯微鏡和 DLP 組合之曝光系統，可比既有系統擁有更具競爭性之價格。
√軟件操作簡便，可以自由繪制曝光Pattern。
√透過物鏡倍率選擇，調整曝光范圍大小與分辨率。
√可以制造微米等級尺寸的 Pattern 。

使用案例：
形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量測用試料之電極。
Mo 原石取出薄片，形成原石特性評估的電極。

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