大功率半自動探針臺 型號 SHCV-6-Auto SHCV-8-Auto SHCV-12-Auto 外形 860mm*850mm*700mm 880mm*860mm*750mm 1300mm*920mm*920mm 重量 180KG 250KG 380KG

半導體測試設備，晶圓工藝設備，實驗室方案

大功率半自動探針臺
型號		SHCV-6-Auto	SHCV-8-Auto	SHCV-12-Auto
外形		860mm*850mm*700mm	880mm*860mm*750mm	1300mm*920mm*920mm
重量		180KG	250KG	380KG
電力需求		AC220V,50~60HZ
Chuck	尺寸	6inch	8inch	12inch
	X-Y軸行程	6*6inch	8*8inch	12*12inch
	X-Y軸移動解析度	0.04um/0.1um
	X-Y軸重復定位精度	±1um
	移動速度	≥ 50 mm/sec
	Z軸行程	10mm
	Z軸移動解析度	0.1um
	Z軸重復定位精度	±1um
	Theta角度行程	±15°
	Theta角度解析度	0.0003°
	光柵尺	帶光柵尺
	樣品固定方式	多孔真空吸附，分區控制
	切換樣品功能	樣品臺快速拉出
	結構	同軸高壓設計，鍍金，電學懸空，可作為背電使用
針座平臺	規格	O型平臺，多可放置8個針座	O型平臺，多可放置10個針座	O型平臺，多可放置12個針座
	行程&調節方式	平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調，行程25mm，升降精度1um
控制方式		手動控制盒（可選擇帶操縱桿）
		軟件控制
軟件功能		wafer map的編輯
		儀器的接入
		數據的采集和圖像化顯示
		數據的分析
		差異數據的標定Ink mark
		自定義Bin分
		自動測試
		通訊接口：RS232/EtherCAT/GPIB等
大功率規格	配置	大功率kelvin樣品臺
		大功率夾具線纜
		mult-pin 分流探針
		大功率保護模塊（針座用）
		保護紅外光幕，防止人員誤進入工作區，觸發時interlock互鎖
		大功率儀器連接模塊
	zui大測試電壓	10KV
	zui大測試電流	500A（脈沖）
光學特性	顯微鏡行程	2*2inch
	顯微鏡行程	1um
	放大倍數	20-4000X
	CCD像素	50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字）
點針規格	點針精度	10微米/2微米/0.7微米
	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm
	漏電精度	10pA/100fA
	接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口
溫控特性	溫度范圍	﹣100~200℃	﹣80~200℃	﹣60~200℃
	溫控精度	溫度分辨率 ： 0.01°C
	加熱電源	LVDC 低壓直流
	zui低控溫速率	±0.1°C  /小時
	傳感器	Pt100
	制冷方式	液氮制冷
減震		主動式減震系統，能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動
可選附件		chuck快速拉出裝置
		顯微鏡傾仰裝置
		激光修復
		探針卡夾具
		光強/波長測試接口部件
		加熱臺
		高低溫樣品臺（-80~200℃）
		防震桌
		射頻測試
		PCB板夾具
		液晶熱點偵測套裝
		屏蔽箱
		卡盤鍍金
運用方向		晶圓測試，功率器件測試
特點：
SiC/GaN晶圓測試			超高的測試精度
大功率晶圓測試			便捷的儀器接入
（-60~200℃）高低溫Chuck			半自動測試
20~4000X光學顯微放大			可升級全自動測試
功能豐富的測試軟件			可升級射頻測試

本頁產品地址：http://lgsztm.com/sell/show-8098744.html