適用于 顯微鏡/光譜儀

-190℃~600℃ 可編程控溫（負溫需配液氮制冷系統）

28 mm x 30 mm帶通光孔的加熱區

在XY方向移動樣品的微分移動尺

可充入保護氣體的氣密腔（另有真空腔型號）

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

*可做定制或改動，詳詢上海恒商

溫度范圍

-190℃ ~ 600℃（負溫需配液氮制冷系統）

加熱塊材質

銀

傳感器/溫控方式

100Ω鉑RTD / PID控制

max加熱/制冷速度

+150℃/min （100℃時）

-50℃/min （100℃時）

min加熱/制冷速度

±0.01℃/min

溫度分辨率

0.01℃

溫度穩定性

±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能

可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線

探針

默認為錸鎢材質的彎針探針 *可選其他種類探針

探針座

杠桿式探針支架，點針力度更大，電接觸性更好

點針

手動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置

探針接口

默認為BNC接頭，可選三同軸接口

*可增設腔內接線柱（樣品接電引線）

樣品臺面電位

默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

非磁性改造

臺體可改用非磁性材質制造，用于變溫霍爾效應探針測試

加熱區/樣品區

28 mm x 30 mm

*使用XY移動尺時樣品區由樣品襯底決定

樣品腔高

2.8 mm

*樣品max厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度

樣品襯底

默認為石英坩堝（內徑>9mm/厚0.5mm）

*可根據用戶使用需求更換為其他

放樣

水平抽出上蓋后置入樣品

樣品XY移動尺

可從密封腔外移動樣品，分辨率10μm，行程10mm

氣氛控制

氣密腔，可充入保護氣體

外殼冷卻

可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近

安裝方式

水平安裝 或 垂直安裝

臺體尺寸/重量

153 mm x 90 mm x 22 mm / 1000g

基本配置

HCS621GXY冷熱臺 、mK2000B溫控器

可選配件

冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統 、外殼循環水冷系統、、

真空系統（僅用于真空型號）