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價格：電議
所在地：上海
型號：HCP421SV-MPS
更新時間：2021-04-30
瀏覽次數：897
公司地址：上海市徐匯區漕寶路400號1604室
周輝(女士)
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功能特點 |
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mimi型溫控探針臺，可集成到各種光學設備 |
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可編程控溫，涵蓋-190℃~1000℃（具體由型號而定） |
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適用 10 mm ~ 50 mm 晶圓和器件 |
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可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用 |
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獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針 |
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可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK |
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*可做定制或改動，詳詢上海恒商 |
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溫控參數 |
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溫度范圍 |
-190℃~400℃（負溫需配液氮制冷） |
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加熱塊材質 |
銀 |
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傳感器/溫控方式
升溫速率 |
100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源） 120℃/min（at 100℃） |
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溫控速度 |
±0.01℃/min |
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溫度分辨率 |
0.01℃ RTD傳感器 |
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溫度穩定性 |
±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
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軟件功能 |
可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線 |
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電學參數 |
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探針 |
默認為錸鎢材質的彎針探針 |
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探針座 |
可從外部XYZ移動的探針臂 粗調模式+微調模式，微調行程2mm |
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點針 |
從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置 |
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探針接口 |
默認為BNC接頭，可選三同軸接口 |
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樣品臺面電位 |
默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口 |
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光學參數 |
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適用光路 |
反射光路 |
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窗片 |
可拆卸與更替的窗片 |
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物鏡工作距離 |
12 mm *截面圖中WD |
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上蓋窗片觀察 |
窗片范圍φ50mm，視角±40° *截面圖中θ1 |
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負溫下窗片除霜 |
吹氣除霜管路 |
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結構參數 |
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適用樣品 |
10 mm ~ 50 mm 直徑 （標準） |
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樣品腔高 |
8 mm |
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探針座 |
可從外部XYZ移動的探針臂 粗調模式+微調模式，XY粗調20mm XY微調行程10mm,Z微調 3mm |
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氣氛控制 |
真空腔，也可充入保護氣體 |
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外殼冷卻 |
可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近 |
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臺體尺寸/重量 |
300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg |
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配置列表 |
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基本配置 |
真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器 |
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可選配件 |
安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯微鏡頭、 真空系統、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線 |
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可選型號 |
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TP102SV-MPS |
溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，樣品區,40mm*40mm |
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HCP421SV-MPS |
溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區 28mm*30mm |
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HCP402SV-MPS |
溫度范圍 -190℃ ~ 400℃，樣品區 50mm*50mm |
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HP1000SG-MPS |
溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，樣品區 25mm*25mm,氣密腔室 |
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定制型號 |
按客戶需求定制，適用300mm晶圓樣品 |
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典型應用 |
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表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試 |
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需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口、三同軸BNC接口的 |
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需要鎢錸探針、鈹銅探針或其他材料的探針的 |
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需要從外部對臺體內探針進行XYZ移動的 |
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晶圓、半導體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試 |
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測量IV和CV特性、擊穿電壓、漏電流、電阻、介電常數和二極管效率 |
免責聲明：以上所展示的[HCP421SV-MPS 通用迷你溫控探針臺 真空腔]信息由會員[上海恒商精密儀器有限公司]自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責。
